Objectius de titani d'alta puresa

Objectius de titani d'alta puresa

1. Innovació bàsica: redefinició de puresa i rendiment​

• Nom del producte: Objectius de polverització de titani de puresa ultra-alta- (graus Gr1-Gr12)
• Referent de puresa:
• Contingut de titani: superior o igual al 99,95% (ASTM B348)
• Control d'impureses: <0.02% (O, N, C ≤0.005%; Fe ≤0.01%)
• Densitat: 4,51 g/cm³ (±0,02)
• Per què això importa:
• Integritat cinematogràfica: Sub-ppm impurity levels eliminate voids and inclusions, ensuring uniform film thickness (±2%) and adhesion strength (peel test >50 MPa).
• Estructura del gra: els grans equiaxials de 50 a 100 μm (verificats per SEM-) redueixen l'arc i milloren l'estabilitat de la velocitat de pulverització en un 30%.
• Avantatge tècnic:
• Fusió per inducció al buit: matèria primera de puresa del 99,999% fosa sota un buit de 10⁻³ Pa.
• Pressió isostàtica en calent (HIP): Tractament de 1.200 graus /200 MPa per tancar els porus<5 μm.
• Mecanitzat CNC de precisió: Toleràncies ±0,05 mm per a dimensions crítiques (p. ex., gruix objectiu).

2. Aplicació-Solucions específiques​

2.1 Fabricació de semiconductors​

Revestiment d'hòstia: Objectius Gr1 (99,5% Ti) per a capes dielèctriques de porta (interfícies òxid/nitrur).

Cas pràctic: Reducció de la contaminació per partícules en un 80% en sputtering d'hòsties de 300 mm.

2.2 Recobriments òptics​

Pel·lícules anti-reflectants: Objectius Gr5 (Ti-6Al-4V) per a òptica UV/IR (control de l'índex de refracció: n=2.2–2,6).

Lents UV-C: Aconsegueix un 99,8% de transmissió en el rang 200–400 nm.

2.3 Emmagatzematge d'energia​

Bateries d'-estat sòlid: Objectius Gr7 (Ti-0,2Pd) per a interfícies d'electròlit sòlid (conductivitat iònica: 10⁻³ S/cm).

2.4 Electrònica avançada​

Circuits flexibles: Objectius Gr12 (Ti-0.3Mo-0.8Ni) per a línies conductores extensibles (tolerància a la tensió: 300%).

3. Garantia de qualitat i compliment​

Certificacions:

• ISO 9001: Traçabilitat total des de la matèria primera fins al producte acabat.
• ASTM B381: Resistència a la fragilitat de l'hidrogen<200 kPa.
• RoHS/REACH: <100 ppm restricted substances.

Protocols de prova:

Etiquetes populars: Objectius de titani d'alta puresa, Xina, fabricants, proveïdors, fàbrica, personalitzats, de baix preu, en estoc, fets a la Xina